Hệ thống lắng đọng hơi vật lý đa buồng chân không siêu cao

Có thể đàm phánCập nhật vào01/22

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Chân không giới hạn: 5 E-10torr Mô tả Sản phẩm: Hệ thống lắng đọng hơi vật lý đa buồng chân không siêu cao Đặt hàng trực tuyến

Chi tiết sản phẩm

siêuHệ thống lắng đọng hơi vật lý đa buồng chân không cao (PVD)

Hệ thống này được sản xuất bởi các nhà sản xuất thiết bị lắng đọng chuyên nghiệp, cấu hình nhiều cách lắng đọng (dành riêng cho các giao diện chức năng khác nhau), rất linh hoạt và lý tưởng cho nghiên cứu khoa học về nhiều chế độ lắng đọng.

Chế độ lắng đọng điều kiện chân không cực cao hiện tại của hệ thống (chỉ với bơm cơ học+bơm phân tử, chân không giới hạn lên tới 5X10E-10Torre). Nhiều chế độ lắng đọng kết hợp, cùng một buồng thực hiện nhiều chế độ lắng đọng chức năng, chế độ nguồn lắng đọng là:
Nguồn phún xạ Magnetron
Nguồn bốc hơi chùm electron
Nguồn hơi nóng
Hệ thống này rất linh hoạt, dễ vận hành phần mềm, chuyên lắng đọng màng siêu tinh khiết cho các tổ chức nghiên cứu, là hệ thống lắng đọng chân không siêu cao thực sự.
Thông số kỹ thuật:
Chân không giới hạn:<5x 10E-10 torr (sau 24 giờ làm mát nướng);
Độ đồng nhất của lớp phủ:<3%
Chuyển mẫu: Đặt lót trên dễ dàng
Tủ: cấu trúc nhỏ chiếm không gian;
Mẫu bàn làm việc: xoay, sưởi ấm, tải thiên vị;
Hoạt động mẫu: buồng hút chân không trước;
Kích thước mẫu: 1 ", 2", 3 ", 4", 8 ", 12", v.v.
Giám sát độ dày màng: cân bằng tinh thể thạch anh, máy lệch hình bầu dục;
Nướng: sưởi ấm bên trong hoặc sưởi ấm bên ngoài;
Hoạt động phần mềm hoàn toàn tự động đơn giản và thuận tiện: hút chân không hoàn toàn tự động và chương trình chạy tự động.

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị