Hệ thống lắng đọng laser xung

Sự miêu tả:Hệ thống lắng đọng laser xung đặt hàng trực tuyến

Hệ thống lắng đọng laser xung
(Hệ thống lắp đặt laser xung)
Nước xuất xứ: Hoa Kỳ
Giới thiệu hệ thống lắng đọng laser xung PLD:
PLD là laser xung thông qua cửa sổ thạch anh tổng hợp dẫn vào khoang chân không chiếu xạ vào mục tiêu tạo màng, sau khi mục tiêu được chiếu xạ hấp thụ năng lượng mật độ cao và hình thành trạng thái plasma dạng plume, sau đó được chồng chất lên bề mặt đối diện để tạo thành màng. Phương pháp PLD cho phép thu được các vật liệu mới tổng hợp nhân tạo với thành phần và cấu trúc của trạng thái gần như ổn định về mặt lý thuyết của nhiệt động lực học.


Hệ thống PLD của chúng tôi có tỷ lệ giá hiệu suất, cấu hình thông số kỹ thuật cụ thể:
1. Mục tiêu: số lượng 6, kích thước 1-2 inch, có thể tự động xoay khi được chiếu sáng bằng laser, việc lựa chọn mục tiêu có thể được điều khiển bằng động cơ bước;
2. Chất nền: Áp dụng tấm sưởi bạch kim phù hợp với môi trường oxy, kích thước 2 inch, nhiệt độ sưởi ấm có thể đạt 1200 độ C, chênh lệch nhiệt độ<3%, chất nền có thể xoay khi sưởi ấm, áp suất môi trường làm việc là 300mtorr;
3. Cung cấp điện sưởi ấm chất nền, đến 1200 độ;
4. Buồng hút chân không siêu cao: vật liệu thép không gỉ sus304, đánh bóng điện phân bề mặt bên trong, chân không cơ sở<5e-8 pa;
5. Phòng xử lý mẫu: vật liệu thép không gỉ sus304, đánh bóng điện phân bề mặt bên trong, chân không cơ sở<5e-5 pa;
6. Hệ thống xả: bơm phân tử và bơm cơ khí khô;
7. Van: Áp dụng van chân không siêu cao;
8. Phát hiện chân không: Máy đo chân không;
9. Đường dẫn khí hai bộ: áp dụng điều khiển đồng hồ đo lưu lượng khí;
10. Hệ thống giám sát tăng trưởng phim: sử dụng RHEED vi sai loại quét;
11. Hệ thống phần mềm giám sát: giám sát và thiết lập nhiệt độ cơ sở, xoay cơ sở và mục tiêu, thay thế mục tiêu, v.v.
12. Tất cả các loại đầu vào hiện tại và thiết bị đo nhiệt độ;
13. Các cấu trúc khác nhau: tất cả các loại bàn di chuyển trống siêu cao, thanh truyền từ, mặt bích chân không siêu cao, máy giặt kín chân không siêu cao, ống sóng cho chân không siêu cao, v.v;

Người dùng mua hệ thống PLD nhập khẩu thuần túy hiệu suất cao cấp nghiên cứu với số tiền tối thiểu.