Giao thoa k? vi sai RLD10 Renishaw UK

Có thể đàm phánCập nhật vào02/04

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Giao thoa kế vi sai RLD10 Renishaw Vương quốc Anh Giao thoa kế vi sai $r$nRLD10 Giao thoa kế vi sai $r$n Giao thoa kế vi sai cho phép đo sự thay đổi vị trí so với các đối tượng tham chiếu được xác định.

Chi tiết sản phẩm

Giao thoa kế vi sai RLD10

Giao thoa kế vi sai cho phép đo sự thay đổi vị trí so với các đối tượng tham chiếu được xác định.

Đầu phát vi sai có thiết kế quang học * cho phép hiệu suất SDE rất thấp. Ống kính hỗ trợ chuẩn trực laser tích hợp cho phép điều chỉnh góc pitch và xoay trong quá trình thiết lập, do đó cải thiện quá trình chuẩn trực (chỉ phù hợp với các ứng dụng gương phẳng).

Đầu phóng RLD10-X3-DI có thể được gắn trên tường bên ngoài của khoang làm việc thông qua một giá đỡ ba chân đơn giản. Đường dẫn ánh sáng có thể được điều chỉnh mà không cần phải đi vào khoang làm việc. Kính hỗ trợ chuẩn trực laser tích hợp có thể điều chỉnh độc lập độ cao và xoắn của chùm tia tham chiếu và đo lường. Thiết kế của hệ thống lắp đặt cho phép tháo rời đầu bắn và điều chỉnh vị trí đầu bắn, với tác động tối thiểu đến chuẩn trực hệ thống.

Tính năng&Ưu điểm

Hiệu suất đo tuyệt vời- Độ chính xác tần số ổn định ppb, lỗi chu kỳ cực thấp, độ phân giải đầu ra đạt 38,6 pm.
Cấu hình khác biệt- Đo sự dịch chuyển của nền tảng chuyển động so với cột lắp đặt, do đó loại bỏ các lỗi chế độ phổ biến, chẳng hạn như chuyển động thành bên của khu vực làm việc liên quan đến biến động môi trường.
Điều chỉnh chuẩn trực nhanh- Sử dụng bốn gương hỗ trợ chuẩn trực laser tích hợp, điều chỉnh chuẩn trực rất đơn giản ở bên ngoài buồng chân không, do đó loại bỏ dung sai lắp đặt buồng chân không và nhóm gương.

Thông số

Trục đột quỵ	0 m - 1 m
Độ phân giải (cấu hình với RLU)	Trực giao tương tự=λ/4 (158 nm) Trực giao số=10 nm Độ phân giải RPI20=38,6 pm
Lỗi phi tuyến tính hệ thống * (SDE) * Không bao gồm giao diện	<± 1 nm dưới 50 mm/giây và cường độ tín hiệu>70% <6 nm ở 1 m/giây và cường độ tín hiệu>50%
tốc độ	Lên đến 1m/s

Renishaw RLU20 thường được sử dụng để cấu hình đầu phát giao thoa kế vi sai. Sự ổn định cao của nguồn laser RLU20 kết hợp với hiệu suất cao của đầu phát giao thoa kế vi sai chắc chắn sẽ trở thành sự lựa chọn lý tưởng cho các ứng dụng trong buồng chân không và môi trường kiểm soát chặt chẽ điều hòa không khí khác.

Giao thoa kế vi sai RLD10 Renishaw UK

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị