Máy dò rò rỉ phổ khối Helium Inficon Đức

Máy dò rò rỉ khí Helium UL3000 Fab (PLUS)

Phiên bản nâng cấp của UL1000 Fab

Máy dò rò rỉ Helium Inficon UL3000 Fab (PLUS) được thiết kế để đáp ứng các yêu cầu phát hiện rò rỉ trong các ứng dụng bán dẫn.

Máy dò rò rỉ này có tính linh hoạt, di động, độ nhạy và độ tin cậy cao để khởi động nhanh và cung cấp độ chính xác nhanh chóng.Kết quả đo lường.

Kết quả nhanh
Hệ thống chân không cải tiến sử dụng thiết kế bơm chân không bảo trì thấp để phát hiện rò rỉ dưới áp suất khí quyển. Hệ thống phổ khối bền đảm bảo thời gian hoạt động lâu hơn và chi phí bảo trì thấp hơn. Phần mềm HYDRO-S trong UL3000 Fab PLUS loại bỏ hơi nước trong hệ thống và làm cho quá trình phát hiện rò rỉ nhanh hơn.

UL3000 Fab PLUS sử dụng dòng Sniffer trưởng thành SL3000 (chiều dài lên đến 10 m) và khả năng Sniffer được cải thiện hơn nữa.

Màn hình điều khiển từ xa xoay
Màn hình cảm ứng mới có thể hiển thị kết quả đo lường và thông tin trạng thái từ xa. Hoạt động dễ dàng thông qua cấu trúc menu hướng dẫn người dùng, ngay cả những người vận hành thiếu kinh nghiệm cũng có thể làm được. UL3000 Fab (PLUS) có thể được điều khiển không dây thông qua điện thoại thông minh hoặc máy tính bảng - không cần phần mềm hoặc ứng dụng đặc biệt. Kết quả phát hiện được ghi lại và lưu trữ có thể được chuyển sang phương tiện lưu trữ khác để phân tích thêm bằng cách nhấn nút.

Thiết kế mỏng cho khả năng cơ động cao
Trọng tâm thấp, bánh xe đáy lớn, tay cầm được thiết kế công thái học và vỏ mỏng cho phép UL3000 Fab (Plus) di chuyển dễ dàng ngay cả trong không gian chật hẹp.

chức năng

• Có thể đo được ở áp suất khí quyển
• Hướng dẫn sử dụng trực quan với màn hình cảm ứng
• Hệ thống chân không bền chắc, không dễ bị bụi và các chất gây ô nhiễm
• Bán kính quay nhỏ, hiệu suất di chuyển tuyệt vời
• Có thể hoạt động thông qua trình duyệt web bằng điện thoại thông minh
• Yêu cầu bảo trì thấp
• Phụ kiện đã được đính kèm trên thiết bị

Máy dò rò rỉ phổ khối Helium Inficon Đức

Ứng dụng tiêu biểu

• Thực hiện kiểm tra rò rỉ trên các thành phần trước khi cài đặt trong các công cụ hiện có
• Kiểm tra và lắp đặt hệ thống khí quá trình
• Thực hiện kiểm tra tự động các thành phần niêm phong với hộp kiểm tra TC1000
• Phát hiện rò rỉ trong môi trường đòi hỏi khắt khe về điều kiện phát hiện và độ sạch