Bộ điều khiển độ dày màng

IC/5 đa mục đíchBộ điều khiển độ dày màngLý tưởng để kiểm soát tốc độ lắng đọng lớp màng và độ dày màng của các hệ thống đa nguồn, đa nồi nấu kim loại, đa vật liệu hoặc đa quá trình. IC/5 có thể đáp ứng nhu cầu của các ứng dụng phức tạp, đòi hỏi cao và đặc biệt. Nó chuyên về kiểm soát quá trình, chức năng logic, khả năng lưu trữ chương trình và lớp màng, quản lý dữ liệu quá trình và đặc biệt là kiểm soát tốc độ lắng đọng và độ dày màng.

Thông số hiệu suất chính

◆ Độ phân giải tần số: 0,03 Hz ở 6,0 MHz

◆ Độ phân giải chất lượng: 0.375 ng/cm²

◆ Tần số chip cảm ứng: 2,5, 3, 5, 6, 9,5, 10 MHz

◆ Độ dày màng hiển thị: 0.000~999.9 KÅ

◆ Tốc độ hình thành màng: 00,0~999 Ang/sec (0~9,99 μm/phút)

◆ Số lượng lớp màng: 1~999

◆ Hiển thị đồ họa: 256 × 64 LCD, chiếu sáng nền CCFL

◆ Cấu hình đầy đủ

◆ Máy chủ MDC360C một bộ, bộ dao động và cáp, đầu dò một, chip 5 miếng

◆ Kích thước máy chính: 16,98 × 3,47 × 9,355 (tính bằng inch)

Chiều rộng bảng điều khiển phía trước 18,98 inch

Kiểm soát quá trình toàn diện

IC/5 có chức năng rộng, nó có thể bắt đầu quá trình bơm, điều khiển van, kích hoạt lò sưởi tấm cơ sở, v.v. Những tính năng nâng cao này giúp hệ thống không cần phải được trang bị các thiết bị phụ trợ, do đó làm giảm độ phức tạp và chi phí của hệ thống. Chức năng logic và điều khiển của IC/5 bao gồm 100 trạng thái logic có thể lập trình được. Bảng mạch rơle I/O và TTL cung cấp nhiều hơn 24 đầu ra rơle, 28 đầu vào TTL, 14 đầu ra TTL, 20 đếm và 20 thời gian. Trạng thái logic có thể được kết hợp với output hoặc output. Mỗi trạng thái có thể chứa tới 5 chức năng và được liên kết với logic Boolean. IC/5 có thể cung cấp 6 đầu ra analog có thể gán, tốc độ lắng đọng, độ dày màng hoặc lệch khỏi tốc độ lắng đọng cho đầu ra điều khiển nguồn hoặc ghi đồ họa.

Quy trình mạnh mẽ theo toa và quản lý dữ liệu

Bộ điều khiển lớp màng IC/5 cung cấp một số chức năng và tùy chọn giúp người dùng quản lý hiệu quả quá trình kê đơn và dữ liệu:

Kho dự trữ trên không phong phú - lên đến 50 quy trình và 250 lớp màng. Cho phép truy cập ngay vào dữ liệu quy trình và tài liệu kê đơn mà bạn sử dụng. Sự xâm nhập này đặc biệt có giá trị đối với các quá trình phức tạp bao gồm nhiều lớp màng, đối với các hệ thống phủ hoạt động trong nhiều quá trình công nghệ và đối với các ứng dụng như phát triển hoặc phát triển công nghệ.

Tùy chọn ổ đĩa - để lưu trữ dữ liệu quá trình và đơn thuốc không giới hạn. Tùy chọn phần mềm chỉnh sửa ngoại tuyến - được sử dụng trên máy tính (không phải bảng IC/5), để nhập hoặc nhập dữ liệu. Lập trình bằng phần mềm này thuận tiện và hiệu quả hơn, đặc biệt là đối với quá trình màng nhiều lớp và đa vật liệu. Ghi dữ liệu - Thông tin về quá trình (độ dày màng cuối, tốc độ lắng đọng trung bình, số lần chạy, số lớp màng, v.v.) có sẵn ở định dạng ASCII để tự động ghi vào cổng giao tiếp điều khiển từ xa, cổng máy in hoặc đĩa. Với tùy chọn ổ đĩa, IC/5 có thể lưu dữ liệu trong định dạng mở rộng, giúp quá trình lưu trữ và xử lý dữ liệu dễ dàng hơn. Ghi dữ liệu có thể dễ dàng tiến hành phân tích sau khi vận hành với tác dụng điều chỉnh nhanh chóng. Đối với sản xuất theo chứng nhận ISO9000 hoặc QA, theo dõi quá trình là * có.

Tự động Z -Lớp phủ tinh tế cho vật liệu nhiều lớp

IC/5 tự động xác định tỷ lệ Z Công nghệ Auto Z, cải thiện độ chính xác điều khiển của độ dày lớp phủ và tỷ lệ lắng đọng, người dùng không còn cần phải tính toán tỷ lệ kháng âm thanh (Z)³. Khi nhiều vật liệu được lắng đọng trên tinh thể, tỷ lệ Z thay đổi theo tỷ lệ vật liệu trên tinh thể, do đó, sự thay đổi giá trị Z là năng động. Auto Z liên tục điều chỉnh tỷ lệ Z trong quá trình thực hiện. Trong quá trình lắng đọng vật liệu phân tầng hoặc hợp kim trên một tinh thể duy nhất, chức năng này đặc biệt quan trọng để duy trì độ dày lớp màng chính xác và tốc độ lắng đọng.

³Auto Z – Hoa Kỳ 5.112.642

AUTO TUNE -Để cài đặt nhanh

Chức năng Auto Tune của IC/5 loại bỏ các bước thăm dò lặp đi lặp lại, tiết kiệm thời gian thiết lập và nhanh chóng tự động xác định hằng số vòng kín kiểm soát phản hồi của nguồn. Auto Tune chọn thuật toán tốt nhất trong một số thuật toán điều khiển - bao gồm thuật toán PID ba tham số (tỷ lệ, tích phân, vi phân) - để kiểm soát trơn tru nhiều nguồn.

Đo đa cảm biến–Đối với độ lặp lại cao

Đối với một số lớp phủ quang học và các ứng dụng khác, sự lặp lại và đồng nhất là đặc biệt quan trọng. Bộ điều khiển IC/5 có thể tích hợp các phép đo từ nhiều đến 8 cảm biến, giảm thiểu hiệu ứng phân phối không đồng đều của nguồn và đảm bảo tỷ lệ lắng đọng lớp màng và độ dày màng cuối tốt * giữa hoạt động phủ trước và tiếp theo. Khi cơ sở quay trên khung cơ sở hành tinh, IC/5 thu thập dữ liệu đồng thời từ vị trí của các cảm biến riêng lẻ, đảm bảo thông tin thu được đại diện cho sự phân phối nguồn hiện tại. So với bộ điều khiển của bộ cảm biến riêng lẻ, phép đo đa cảm biến cải thiện đáng kể độ lặp lại của độ dày màng do tốc độ lắng đọng tổng hợp cố định của lớp màng được kiểm soát, độc lập với dao động trong phân bố nguồn. Khi mô hình phân phối của nguồn thay đổi, IC/5 thích hợp để điều chỉnh công suất. Mặc dù tốc độ lắng đọng trên bất kỳ cảm biến nào có thể thay đổi đáng kể trong khi tốc độ lắng đọng tổng thể vẫn không thay đổi. Tổng lượng vật liệu lắng đọng trên mỗi tấm cơ sở được kiểm soát chính xác; Độ chính xác của độ dày màng tổng thể có thể được cải thiện từ hai đến ba lần so với bộ điều khiển của một cảm biến duy nhất. Do phát hiện chính xác những thay đổi về đặc điểm do mất nguồn, phép đo đa cảm biến có thể giúp bạn:

Khi nào cần thêm nguồn

Xác định giá trị cài đặt tốt nhất cho các thông số như quét, phạm vi và rung tần số cao của súng điện tử

Quy trình chuẩn bị tốt hơn

Bởi vì tất cả các bộ cảm biến được liên kết với một bộ điều khiển IC/5, yêu cầu không gian cho tủ nhỏ và tốc độ hiệu chỉnh của nó nhanh hơn ba đến năm lần so với cấu trúc kết hợp máy tính/đa điều khiển cũ.

Đồng lắng đọng chính xác

IC/5 kiểm soát lớp phủ đồng thời của cả hai vật liệu. Nó chứa một tham số tỷ lệ được lập trình để kiểm soát tỷ lệ của hợp kim trong tốc độ lắng đọng thay đổi và một tham số độ nhạy chéo (hoặc thích ứng chuỗi) tự động bù đắp cho vật liệu từ một nguồn được mạ trên cảm biến được sử dụng để kiểm soát nguồn khác. Chức năng Auto Z cũng góp phần vào việc đồng lắng đọng IC/5, duy trì độ chính xác của độ dày màng khi các vật liệu khác nhau được trộn lẫn trên một tinh thể.

Dễ dàng lắp vào các thiết bị hiện có

IC / 5Bộ điều khiển độ dày màng Được trang bị cáp thích hợp, dễ dàng lắp đặt vào các thiết bị hiện có và thay thế bộ điều khiển lớp màng của INFICON cũ hoặc các nhà máy sản xuất khác. Chi tiết xin vui lòng liên hệ với bộ phận của chúng tôi.