Màn hình độ dày màng EQ-TM106

Có thể đàm phánCập nhật vào02/18

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Màn hình độ dày màng EQ-TM106 sử dụng nguyên lý dao động tinh thể thạch anh, kết hợp với công nghệ đo tần số * để theo dõi độ dày màng trực tuyến. Nó chủ yếu được sử dụng trong quá trình chuẩn bị màng của MBE, OLED bay hơi nhiệt, magnetron phún xạ và các thiết bị khác, để theo dõi thời gian thực về độ dày lớp màng và tốc độ phủ.

Chi tiết sản phẩm

Màn hình độ dày màng EQ-TM106Nó sử dụng nguyên tắc dao động tinh thể thạch anh.Kết hợp.* Công nghệ đo tần số，Tiến hành giám sát trực tuyến độ dày màng. chínhỨngdùng choMBE、Sản phẩm OLEDThiết bị bay hơi nhiệt, phún xạ magnetron và các thiết bị kháccủaTrong quá trình chuẩn bị phim，dùng chođúngĐộ dày màng và tốc độ phủThực hiện thời gian thựcGiám sát。Màn hình độ dày màng EQ-TM106Theo nhưChuẩn bị phimTốc độ thời gian thực có thể xuấtSản phẩm PWM(Điều chế độ rộng xung)lượng mô phỏng,nhưSử dụng cảm biến độ dày màng, phối hợp với bộ điều chỉnh và nguồn bay hơi để đạt được kiểm soát tốc độ vòng kín của nguồn bay hơiđể phát hiện độ dày của bộ phim đã chuẩn bị。Màn hình độ dày màng EQ-TM106Kích thước nhỏ gọn giúp tiết kiệm không gian phòng thí nghiệm, nguyên tắc đơn giản và dễ vận hành, đặc biệt thích hợp cho việc sử dụng quá trình chuẩn bị màng trong phòng thí nghiệm.

sản phẩmtên	Màn hình độ dày màng EQ-TM106
Mã sản phẩm	Sản phẩm EQ-TM106
Các tính năng chính	1、bảnmáyCó thể kết nối với máy tính。 2、Công cụ hiển thịVớiGiao diệnNgắn gọnCác ưu điểm như trực quan, hợp lý, thao tác thuận tiện và nhanh chóng, v. v., có thể hiển thị trực quan độ dày, tốc độ, tần suất đo lường,Sản phẩm PWMĐiều khiển trạng thái làm việc như tỷ lệ phần trăm đầu ra。 3、Thông qua phần mềm hoặc công cụ hiển thị có thể thiết lập thời gian điều khiển cổng, chế độ đầu ra, thuật toán tốc độ, thông số vật liệu, phạm vi đầu ra và thông số truyền thông, v.v. và có thể ghi dữ liệu liên quan được đo lườngSản phẩm Exceltài liệu。 4、Nó có ưu điểm là khối lượng siêu nhỏ, độ chính xác đo cao, hoạt động đơn giản và dễ sử dụng.
Thông số kỹ thuật	Bộ phận giám sát EQ-TM106-1 1, Nguồn điện: DC 5V（±10%），Dòng điện lớn 400mA 2, Độ phân giải tần số:± 0,03 giờz 3, Độ phân giải độ dày màng:0.0136（Nhôm） 4, Độ chính xác của độ dày màng:±0.5%, Phụ thuộc vào điều kiện quá trình, đặc biệt là vị trí của cảm biến, ứng suất vật liệu, nhiệt độ và mật độ 5, Tốc độ đo: 100ms -1s/Thứ hai，Có thể thiết lập B5-05=giá trị thông số Kd, (cài 2)Nhôm） 7, Tinh thể cảm biến tiêu chuẩn: 6MHz 8, Giao diện máy tính: RS-232/485Giao diện nối tiếp（Tốc độ truyền 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400 có thể được đặt，bit dữ liệu：8，bit dừng：1，kiểm tra：không） 9, Đầu ra analog: 8Độ phân giải bit，Đầu ra điều chế độ rộng xung PWM（Bộ thu mở hoặc đầu ra 5V bên trong） 10, Môi trường làm việc: nhiệt độ 0-50 ℃, độ ẩm 5% -85% RH, không có hạt ngưng tụ 11, Kích thước tổng thể: 90mm×50mm×18mm
	Màn hình EQ-TM106-2 1, Nguồn điện đầu vào: AC 220V±10% 2, Nguồn điện đầu ra: DC 5V 3A 3, Màn hình hiển thị: 12×2 ống kỹ thuật sốvàĐèn LED Cổng giao tiếp: RS-485 (Tốc độ truyền 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400 Có thểCài đặt,bit dữ liệu：8 vị trí，bit dừng：1 vị trí，Kiểm tra chẵn lẻ：không） 5, Kích thước tổng thể: 182mm×65mm×160mm
	Đầu dò EQ-TM106-3 1, Tần số wafer áp dụng: 6 MHz 2, Kích thước chip áp dụng:Ø14mm 3, Mặt bích lắp đặt: CF35 4, ống nước làm mát:Ø3 mm,Chiều dài 300mmSố lượng: 500mm, 1000mm 5, Áp suất nước làm mát:<0.3MPa 6, khí nén vách ngăn đường ống:Ø3 mm 7, Áp suất khí nén:<0.8MPa,> 0,5 MPa 8. Nhiệt độ nướng:Trạng thái thông nước<200 ℃, không có mặt bích trạng thái nước<100 ℃ 9, Giao diện điện: BCNổ cắm
Phụ kiện tiêu chuẩn	1	Bộ phận giám sát EQ-TM106-1	1 chiếc
	2	Màn hình EQ-TM106-2	1 bộ
	3	Đầu dò EQ-TM106-3	1 chiếc

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị