Bơm chân không áp suất không đổi

Có thể đàm phánCập nhật vào01/21

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Giới thiệu vắn tắt sản phẩm: Được sử dụng rộng rãi trong khuếch tán, oxy hóa, kéo dài, CVD、 Plasma phún xạ và quá trình mạ, nóng chảy sợi quang, hệ thống phân phối khí hỗn hợp và các dụng cụ phân tích khác.

Chi tiết sản phẩm

KT-PID1000Z là một hệ thống điều khiển áp suất không đổi chân không. Hệ thống hỗ trợ các mô hình khác nhau của 4 khối - 16 khối bơm tốc độ mỗi giờ. Điều khiển tốc độ bơm của máy bơm chân không thông qua van tuyến tính, sau đó có được phép đo chính xác và điều khiển áp suất không đổi của buồng. Nó có thể được kết hợp với lò ống của công ty chúng tôi, máy mạ, máy niêm phong và các thiết bị khác để đạt được điều khiển chính xác áp suất không đổi của PVD, CVD và PECVD và các quá trình khác.

Ứng dụng rộng rãi trong khuếch tán, oxy hóa, kéo dài bên ngoài, CVD、 Plasma phún xạ và quá trình mạ, nóng chảy sợi quang, hệ thống phân phối khí hỗn hợp và các dụng cụ phân tích khác.

Thông số kỹ thuật:

Chế độ điều khiển: Điều khiển thuật toán PID

Phạm vi điều khiển: 1000Pa-1Pa (Tốc độ bơm chân không theo kích thước buồng)

Phạm vi tốc độ bơm điều chỉnh PID: 0-100%

Hỗ trợ bơm chân không: 4-16 mét khối Tốc độ bơm mỗi giờ

Mặt bích hút chân không: KF16 KF25 KF40

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị