Kính hiển vi CNC Nikon 1pm Độ phân giải cao Giao thoa ánh sáng

Công ty NIKON INSTECH thuộc sở hữu của Nikon (Trụ sở chính: Tokyo) sẽ giới thiệu hệ thống kính hiển vi giao thoa ánh sáng "BW-M7000" với độ phân giải cao lên tới 1pm (Hình 1). Hệ thống này có thể xác định độ chính xác cao và tốc độ cao các đặc điểm bề mặt từ kích thước nano đến milimet (mô hình bề mặt vật liệu và độ nhám, chênh lệch nhỏ trên bề mặt, v.v.).

Phương pháp FVWLI (Focus Variation with White Light Interferometry) được phát triển bởi Nikon. Phương pháp này có thể làm cho bề mặt của vật liệu đối tượng tạo ra các đường giao thoa, xác định vị trí tiêu điểm của từng điểm ảnh với độ chính xác cao. Bằng cách sử dụng phương pháp này, một đánh giá tính trạng bề mặt với độ cao trung bình tính toán ba chiều (Sa) ở mức 0,1 nm có thể đạt được ở tất cả các bội số từ 2,5 lần (trường nhìn 4,4 × 4,4 mm) đến 100 lần (trường nhìn 111,0 × 110,0 μm). Khả năng xác định bề mặt siêu mịn đến bề mặt gồ ghề trong một chế độ duy nhất mà không cần thay thế các thành phần như bộ lọc quang học. Ngoài ra, sử dụng giao thoa pháp quang phổ khi xác định độ dày của màng. Có thể xác định độ dày của màng trong suốt có độ dày từ 1 nm đến 40 μm trong vòng chưa đầy 0,1 giây.

Nó có thể đạt được xác định hoàn toàn tự động thông qua các phương tiện điều khiển chương trình, có thể tự động thực hiện lấy nét, điều chỉnh độ nghiêng của mẫu, đánh giá sự phù hợp và các hoạt động khác. Có thể tự động xác định nhiều tầm nhìn, ngoại trừ nghiên cứu phát triển vật liệu, còn có thể dễ dàng dùng cho quản lý chất lượng và hiện trường.

Kính hiển vi CNC Nikon BW-M7000 được trang bị bệ phóng trục XY điện với hành trình 300 × 300mm và bệ phóng zoom trục Z điện với hành trình 200mm. Có thể đo lường chất bán dẫn, LED、 Vật liệu màng, vật liệu polymer, các bộ phận gia công chính xác và nhiều mẫu khác (Hình 2, Hình 3). Khi xác định hình dạng bề mặt của bit *, các kẹp có sẵn để duy trì trạng thái cố định thẳng đứng của nó.