1200 ℃ Hệ thống PECVD trượt trước nhiệt độ kép

Ứng dụng sản phẩm:hai

Hệ thống PECVD là sự trợ giúp của tần số vô tuyến để ion hóa các khí có chứa các nguyên tử tạo thành màng mỏng, tạo thành plasma cục bộ, hoạt động hóa học mạnh và dễ dàng phản ứng để lắng đọng màng mong muốn trên tấm nền.

Thành phần sản phẩm:

Cấu hình hệ thống PECVD:

1. 1200 độ mở loại lò ống chân không cho khu vực nhiệt độ kép

2. Hệ thống trượt được chia thành trượt bằng tay, trượt điện và cấu hình hệ thống đo nhiệt độ trong ống.

3. Pre-sưởi ấm mở loại ống lò điện

4. Nguồn cung cấp tần số vô tuyến plasma

5. Hệ thống kiểm soát lưu lượng chất lượng đa kênh

6. Hệ thống chân không (chân không trung bình hoặc chân không cao tùy chọn)

Tính năng sản phẩm:

Nhiệt độ tăng trưởng thấp; Tốc độ lắng đọng nhanh; Chất lượng phim tốt, phạm vi ứng dụng rộng, thiết bị đơn giản.

Địa chỉ Công ty TNHH Cổ phần Lò điện Trung Hoàn Thiên Tân: Số 11 đường Shuangchuan, Khu công nghệ Bắc Thần, Quận Bắc Thần, Thiên Tân