Ba mục tiêu Magnetron Sputtering Coater

Có thể đàm phánCập nhật vào08/04

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Giới thiệu đơn giản: Giới thiệu sản phẩm: CY-600-3HD ba mục tiêu Magnetron Sputtering Coater là một loại máy phủ phun trào Magnetron có giá tình dục tương đối cao do công ty chúng tôi phát triển và phát triển độc lập. Nó có thể được sử dụng để chuẩn bị màng sắt hoặc nhiều lớp, màng dẫn điện, màng hợp kim, màng bán dẫn, màng gốm, màng trung bình, màng quang học, màng oxit, màng cứng, màng Teflon, v.v. Máy phủ phún xạ magnetron ba mục tiêu này so với các thiết bị tương tự, nó không chỉ được sử dụng rộng rãi, mà còn có lợi thế về khối lượng nước tiểu để hoạt động. Nó là một thiết bị lý tưởng để chuẩn bị màng vật liệu trong phòng thí nghiệm, đặc biệt thích hợp để nghiên cứu chất điện phân trạng thái rắn và OLED trong phòng thí nghiệm.

Chi tiết sản phẩm

Giới thiệu chi tiết:

Giới thiệu sản phẩm:CY-600-3HD ba mục tiêu magnetron phún xạ máy là một trong những giá trị tình dục cao hơn magnetron phún xạ máy sơn được phát triển độc lập bởi công ty chúng tôi. Nó có thể được sử dụng để chuẩn bị một hoặc nhiều lớp sắt điện phim, phim dẫn điện, phim hợp kim, phim bán dẫn, phim gốm, phim phương tiện truyền thông, phim quang học, phim oxit, phim cứng, phim teflon, v.v. So với các thiết bị tương tự, nó không chỉ được sử dụng rộng rãi, mà còn có lợi thế về khối lượng nước tiểu để vận hành, nó là một thiết bị lý tưởng để chuẩn bị màng vật liệu trong phòng thí nghiệm, đặc biệt thích hợp để nghiên cứu chất điện phân trạng thái rắn và OLED trong phòng thí nghiệm.

Mô hình sản phẩm	Ba mục tiêu Magnetron Sputter（CY-600-3HD）
Điều kiện lắp đặt	Thiết bị này yêu cầu sử dụng ở độ cao dưới 1000m, nhiệt độ 25 ℃ ± 15 ℃, độ ẩm 55% Rh ± 10% Rh. Thiết bị vớt váng dầu mỡ cho xử lý nước thải -PetroXtractor - Well Oil Skimmer ( 2, Điện: AC220V 50Hz, phải có mặt đất tốt 3, khí: buồng thiết bị cần phải được nạp đầy khí argon (độ tinh khiết 99,99%), cần phải tự chuẩn bị bình khí argon (với Ø6mm khớp nối ferrule kép) và van giảm áp 4, Bàn làm việc: Kích thước 1500mm × 600mm × 700mm, chịu tải trên 200kg 5, thiết bị thông gió: cần thiết
Các tính năng chính	1, cấu hình ba súng mục tiêu, một nguồn cung cấp RF phù hợp cho lớp phủ phún xạ của các mục tiêu không dẫn điện, hai nguồn DC phù hợp cho lớp phủ phún xạ của vật liệu dẫn điện (súng mục tiêu có thể được thay đổi tùy ý theo nhu cầu của khách hàng). 2, nhiều loại phim có thể được chuẩn bị và ứng dụng rộng rãi. 3, kích thước nhỏ và hoạt động dễ dàng. 4. Thiết kế mô-đun của toàn bộ máy, buồng chân không, bộ bơm chân không, thiết kế tách nguồn điều khiển, có thể điều chỉnh nhu cầu mua theo nhu cầu thực tế của người dùng. 5, có thể theo nhu cầu thực tế của người dùng để lựa chọn nguồn điện, có thể một nguồn điện để kiểm soát nhiều súng mục tiêu, cũng có thể nhiều nguồn điện để kiểm soát một súng mục tiêu.
Thông số kỹ thuật	1, Điện áp cung cấp: 220V 50Hz 2, Tổng công suất: 2.5KW 3, chân không giới hạn:<E- 6mbar (có thể sử dụng với thiết bị của công ty)E-5mbar） 4, Nhiệt độ làm việc: RT-500 ℃, độ chính xác ± 1 ℃ (có thể nâng nhiệt độ theo nhu cầu thực tế) 5, Số lượng súng mục tiêu: 3 6, Phương pháp làm mát súng mục tiêu: Làm mát bằng nước 7, Kích thước mục tiêu: Ø2 ", độ dày 0,1mm-5mm (khác nhau do độ dày khác nhau của vật liệu mục tiêu) 8, DC công suất phún xạ: 500W (tùy chọn) 9, Công suất phún xạ RF: 300W/500W (tùy chọn) 10, Bảng mẫu: Ø140mm 11, Tốc độ bảng mẫu: Điều chỉnh trong vòng 1rpm-20rpm 12, khí bảo vệ: Ar, N2 và các loại khí trơ khác 13, Đường dẫn khí nạp: Đồng hồ đo lưu lượng khối kiểm soát 2 luồng khí nạp, mỗi luồng là 100SCCM
Thông số sản phẩm	Kích thước máy chính: 500mm × 560mm × 660mm, kích thước toàn bộ máy: 1300mm × 660mm × 1200mm; trọng lượng: 160kg
Phụ kiện tiêu chuẩn	1	Hệ thống điều khiển nguồn DC	2 bộ
	2	Hệ thống điều khiển nguồn RF	1 bộ
	3	Hệ thống giám sát độ dày màng	1 bộ
	4	600Bơm phân tửNhóm	1 bộ
	5	Nước làm mát cấp công nghiệpMáy móc	1 bộ
	6	Ống nước làm mát (Ø6mm)	4 chiếc
Phụ kiện tùy chọn	Các mục tiêu khác nhau như vàng, indi, bạc, bạch kim, v.v.

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị