Mục tiêu nhỏ Magnetron Sputtering Coater

Có thể đàm phánCập nhật vào08/04

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Giới thiệu đơn giản: Máy phủ phun trào magnetron mục tiêu nhỏ là một thiết bị phủ phun trào magnetron tỷ lệ giá cao được phát triển độc lập bởi công ty chúng tôi. Nó có các tính năng thu nhỏ và tiêu chuẩn hóa. Mục tiêu điều khiển từ tính có sẵn trong 1 inch, 2 inch để lựa chọn, khách hàng có thể tự lựa chọn theo kích thước của chất nền được mạ

Chi tiết sản phẩm

Giới thiệu chi tiết:

Mini Single Target Magnetron Sputtering Coater là một tỷ lệ giá cao Magnetron Sputtering Coater thiết bị được phát triển độc lập bởi công ty chúng tôi. Nó có tính năng thu nhỏ và tiêu chuẩn hóa. Mục tiêu điều khiển từ tính có 1 inch, 2 inch để lựa chọn, khách hàng có thể tự lựa chọn theo kích thước của chất nền được mạ; Nguồn điện được cung cấp là nguồn DC 150W, có thể được sử dụng cho lớp phủ kim loại phún xạ. Máy phủ được trang bị giao diện thở, có thể đi qua khí bảo vệ, nếu khách hàng cần đi qua khí hỗn hợp, có thể liên hệ với nhân viên để cấu hình đồng hồ đo lưu lượng chất lượng chính xác cao để đáp ứng nhu cầu thử nghiệm. Thiết bị được trang bị tiêu chuẩn với bộ bơm phân tử tuabin tiên tiến, chân không giới hạn có thể đạt 1.0E-5Pa, trong khi các loại bơm phân tử khác có sẵn để lựa chọn.

Mục tiêu nhỏ Magnetron Sputtering CoaterPhạm vi áp dụng:

Thiết bị này có thể được sử dụng để chuẩn bị màng sắt điện đơn, màng dẫn điện, màng hợp kim, v.v. Mục tiêu duy nhất này Magnetron Sputtering Coater so với các thiết bị tương tự, được thiết kế thu nhỏ, tích hợp cao, kích thước nhỏ gọn, có thể được đặt trên bàn để sử dụng. Nó là một thiết bị lý tưởng để chuẩn bị màng vật liệu trong phòng thí nghiệm.

Mục tiêu nhỏ Magnetron Sputtering CoaterThông số kỹ thuật:

Mục tiêu nhỏ Magnetron Sputtering Coater
Bảng mẫu	Kích thước	φ138mm	Kiểm soát nhiệt độ chính xác	±1℃
Bảng mẫu	Nhiệt độ sưởi ấm	* Cao500℃	Tốc độ quay	1-20rpmĐiều chỉnh
Đầu phún xạ Magnetron	Số lượng	2” x1（1”,2”Tùy chọn)	Thông số kỹ thuật của máy làm lạnh nước	10L/minMáy làm lạnh nước tuần hoàn với tốc độ dòng chảy
Đầu phún xạ Magnetron	Phương pháp làm mát	Nước làm mát
Buồng chân không	Kích thước buồng	φ180mm × 215mm	Xem cửa sổ	Trong suốt Omni
Buồng chân không	Vật liệu khoang	Quartz có độ tinh khiết cao	Cách mở	Loại tháo nắp trên
Hệ thống hút chân không	Mô hình sản phẩm	CY-GZK103-A	Giao diện bơm	KF40
	Bơm phân tử	CY-600	Giao diện xả	KF16
	Bơm cực trước	Bơm trục vít	Đo chân không	Máy đo chân không composite
	Cực hút chân không	1.0E-5Pa	Cung cấp điện	AC;220V 50/60Hz
	Tốc độ bơm	Bơm phân tử:600L/S Bơm trục vít:1.1L/S Hiệu suất bơm toàn diện:20Độ chân không phút có thể đạt được:1.0E-3Pa
Cấu hình nguồn	Số lượng	Nguồn DC×1	* Công suất đầu ra cao	150W
Khác	Điện áp cung cấp	AC220V,50Hz	Kích thước máy hoàn chỉnh	500mm × 350mm × 400mm
	Toàn bộ sức mạnh máy	1.7KW (bộ bơm chân không 1.5KW+máy này 0.2KW)	Trọng lượng toàn bộ máy	30kg

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị