-
Thông tin E-mail
emkete@emcrafts.com.cn
- Điện thoại
-
Địa chỉ
Tòa nhà 25, Viện số 9, Đường Pingjing Zhuangxi, Quận Haidian, Bắc Kinh
Bạch kim Ruida (Bắc Kinh) Công nghệ Công ty TNHH
emkete@emcrafts.com.cn
Tòa nhà 25, Viện số 9, Đường Pingjing Zhuangxi, Quận Haidian, Bắc Kinh
Thông số cơ bản
Loại/Sử dụng: Trong chân không (SEM, chân không một phần, khí trơ), trong không khí
Chế độ thụt lề chính: True Shift
Khả năng thích ứng của giao thức kiểm tra: Phần mềm tùy chỉnh
Tùy chọn nâng cấp/Chức năng mở rộng: Mô-đun nhiệt độ cao và tốc độ căng cực cao
thụt lề
Mẹo thụt lề: Berkovich, Cube Corner, Flattop, Wedge, Spherical, v.v.
Phạm vi thụt lề: 40μm
Đáy nhiễu dịch chuyển:<1nm
Phạm vi tải: Tiêu chuẩn 500mN/Tùy chọn 1.5N
Tải tiếng ồn cơ bản: 4μN/12μN RMS tiếng ồn
Chế độ xoang: Chế độ dịch chuyển 200Hz
Giới thiệu về vết lõm: Người vận hành có thể tự do xác định bất kỳ đường viền nào (dịch chuyển hoặc tải trọng)
Căn chỉnh đầu mẫu
Phương pháp từ xa đầu báo chí: phạm vi 22mm, độ phân giải 1nm (vòng kín)
Chế độ tiếp cận tự động: hơn vài mm
Phạm vi vị trí lấy mẫu: 26x26mm, độ phân giải 1nm (vòng kín)
Khu vực lõm (khuyến nghị) 10x10mm
Drift ở nhiệt độ phòng: 5nm/phút (trong chân không)
Mô-đun tỷ lệ căng thẳng cực cao
Tỷ lệ căng thẳng: lên đến 3000s-1
Chế độ xoang: Vòng hở 10kHz
Phạm vi bắt đầu: 1μm
Phạm vi đo: 1N
Tải tiếng ồn cơ bản: 30μN RMS tiếng ồn
Mô-đun nhiệt độ cao
Phạm vi nhiệt độ cao: tiêu chuẩn 600 ℃/tùy chọn 800 ℃
Độ trôi ở 600 ℃: 10nm/phút
Thời gian ổn định ở 600 ℃:<3 giờ
Vật liệu đầu nhọn: kim cương, khối boron nitride, sapphire, cacbua vonfram, vv
Ổn định nhiệt độ: Độ phân giải 10mK