Danh mục sản phẩm

Shanghai Guier Machinery Equipment Co., Ltd

Thông tin E-mail
shguier@163.com
Điện thoại
13044150000
Địa chỉ
Số 8 Phố Đình, thị trấn Yeshe, quận Songjiang, Thượng Hải

Liên hệ bây giờ

Lò ống cho hệ thống CVD

Có thể đàm phánCập nhật vào01/23

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

GR.TF loạt ống chân không lò Giới thiệu chi tiết GR.TF loạt ống chân không lò, với thiết kế hiệu suất hợp lý, tích hợp nhiều chức năng trong một, an toàn, độ tin cậy, thực tiễn đạt được hiệu quả lý tưởng

Chi tiết sản phẩm

GR.TFGiới thiệu chi tiết về lò ống chân không

Lò ống chân không GR.TF Series, với thiết kế hiệu suất hợp lý, kết hợp nhiều chức năng trong một, an toàn, độ tin cậy và thực tế đạt được hiệu quả lý tưởng.

1, nhiệt độ 1100 ℃ -1800 ℃, khu vực sưởi ấm là 300mm.

2. Thân lò thông qua cấu trúc vỏ lò hai lớp. Giữa vỏ lò hai lớp được trang bị quạt. Nó có thể nhanh chóng nâng và hạ nhiệt độ. Nhiệt độ bề mặt của vỏ lò thấp.

3, ống lò sử dụng ống thạch anh có độ tinh khiết cao hoặc ống corundum, cả hai đầu đều được niêm phong bằng mặt bích chân không cao SUS304.

4. Vật liệu lò được làm bằng chất lượng cao nhập khẩu nhôm oxit đa tinh thể sợi hấp phụ chân không. So với lò điện vật liệu lò cứng truyền thống, tiết kiệm năng lượng được cải thiện rõ rệt. Nó có khả năng chống lạnh và nhiệt mạnh mẽ. Lò điện 1100 ℃ bao gồm hai phần trên và dưới, trong đó phần trên của lò có thể lật ngược toàn bộ 110 ℃. Lò trên 1100 ℃ là một loại tích hợp, thuận tiện cho việc lấy và đặt vật liệu thí nghiệm và thay đổi ống lò. Các yếu tố làm nóng sử dụng dây điện trở Thụy Điển contair, thanh carbon silicon, thanh molypden silicon.

5. Hệ thống điều khiển nhiệt độ lò điện sử dụng công nghệ điều chỉnh trí tuệ nhân tạo, độ chính xác điều khiển dụng cụ là ± 1 ℃. Nó có điều chỉnh PID, điều khiển mờ, khả năng tự điều chỉnh và có thể chuẩn bị các chương trình sưởi ấm khác nhau. Nó có chức năng báo động nhiệt độ cực cao. Nó có chức năng ngắt điện hư hỏng cặp nhiệt điện. Nó có chức năng điều khiển mật khẩu tham số tích hợp.

6, tốc độ làm nóng ≤30 ℃/phút (tốc độ làm nóng đề nghị ≤10 ℃/phút), có thể viết chương trình làm nóng tự động 30 phần, điều khiển silicon điều khiển, được trang bị màn hình kỹ thuật số LED voltagemeter, current meter.

7, Giao diện truyền thông RS-485 tùy chọn, phần mềm quản lý dữ liệu, với dữ liệu lịch sử ghi lại không cần giấy và đường cong nóng lên, chức năng sửa lỗi lệch nhiệt độ, có thể quản lý nhiều thiết bị và phân tích chẩn đoán lỗi từ xa.

8. Nhiều thiết kế bảo vệ an toàn, hiệu suất an toàn tốt và tuổi thọ dài.

9, lò điện có thể hút chân không, thông qua bầu không khí, độ chân không có thể đạt 10pa (bơm cơ khí), nếu cần độ chân không cao hơn có thể chọn bơm phân tử, đạt 6,67x10-3pa.

Cấu hình tiêu chuẩn:

1, 304 mặt bích thép không gỉ 1 bộ

2, Vòng đệm 4 chiếc

3, Lò nướng 2 con

4. Móc lò 1 cái.

5, hướng dẫn sử dụng, thẻ bảo hành, giấy chứng nhận hợp lệ 1 bộ

6, thạch anh ống hoặc corundum ống 1 cái

Bộ bơm chân không cao (Bộ bơm phân tử)

GR-620/GR-500F loạt máy bơm phân tử hỗn hợp là thiết bị thu được chân không siêu cao sạch sẽ được lắp ráp trên giá đỡ bởi F160/620 loạt hiệu suất khác nhau của máy bơm phân tử hỗn hợp hoặc FF-160/500F loạt máy bơm phân tử hỗn hợp, bơm bơm giai đoạn phía trước, van xả phân vùng, đường ống giai đoạn phía trước, bảo vệ ngắt nước, nguồn bơm phân tử, hệ thống phát hiện chân không cao (máy đo chân không composite), nguồn cung cấp điều khiển, vv Dễ lắp đặt, vận hành đơn giản, dễ kết nối, hiệu suất đáng tin cậy, có thể được sử dụng rộng rãi trong các lĩnh vực khác nhau của phân tích bề mặt, công nghệ máy gia tốc, thiết bị bán dẫn, công nghệ plasma, sản xuất thiết bị chân không điện và công nghệ chân không.

FJ-620 đơn vị bơm phân tử Hiệu suất kỹ thuật:

Mã sản phẩm	Mẫu số GR-620
Mặt bích không khí	DN160LF	DN160CF
Tốc độ bơm L/S (đối với không khí)	600
Tỷ lệ nén N2 H2	＞109 6 & lần; 103
Đề nghị khởi động áp suất	<100 Pa
Áp suất tối đa (Pa)	6 & lần; 10-6		6 & lần; 10-7
Mặt bích xả	KF25 / KF40
Sử dụng vòng bi	Vòng bi cơ khí chính xác
Tần số điện áp đầu vào (V/Hz)	220± 20/50
Nhiệt độ môi trường (℃)	0～40
Mô hình bơm giai đoạn trước	RVP-6
Số vòng làm việc định mức (rpm)	42，300
Phương pháp làm mát	Nước làm mát
Áp suất nước làm mát (MPa)	0.1-0.2
Nhiệt độ nước làm mát (℃)	<25
Cách cài đặt	Tùy ý
Trọng lượng (kg)	52
Lâu× Rộng× cao	730 & lần; 520 & lần; 700
trọng lượng	117

Hệ thống cung cấp không khí

Đồng hồ đo lưu lượng khối lượng và bể trộn bằng thép không gỉ đều được lắp đặt trong một tủ di động, tủ di động có thể chịu tải 1000Lbs, cài đặt lưu lượng và hiển thị trạng thái của mỗi đường dẫn không khí kênh đều tập trung trên màn hình cảm ứng, đồng thời có thể xem đường cong lưu lượng khí và dữ liệu trong thời gian thực.

· Phạm vi tiêu chuẩn: 100sccm, 200sccm, 200sccm, 500sccm (phạm vi và số lượng có thể được tùy chỉnh)

· Bộ điều khiển lưu lượng chất lượng:

(1) Điện áp làm việc: AC 220V/50HZ

(2) Nhiệt độ làm việc: 5-45 ℃

(3) Áp suất làm việc: 3&thời gian; 106 Pa

(4) Công suất đầu ra: 23W

(5) Độ chính xác:± 1.5%FS

(6) Tuyến tính:± (0.5-1.5)%F.S

(7) Độ chính xác lặp lại:± 0.2%F.S

(8) Thời gian đáp ứng: Đặc tính khí: 1-4 giây, Đặc tính điện: 10 giây

(9) Phạm vi chênh lệch áp suất làm việc: 0,1-0,5 MPa

· Màn hình cảm ứng PLC:

Thiết lập đường dẫn khí và xem của mỗi kênh tập trung vào màn hình cảm ứng, có thể tùy chọn giao diện truyền thông RS485 và phần mềm điều khiển nhiệt độ PC có thể được kết nối với máy tính để điều khiển từ xa

· Đồng hồ đo áp suất cơ học: Phạm vi phạm vi: -0,1-0,15MPa

· Van kim: Thép không gỉ 316

· Phụ kiện đường ống: 1/4 "PTFE ống cho đường ống kết nối bên trong, 1/4" PTFE ống cho đường ống thở bên ngoài

· Bể trộn gas:Φ 80× 120mm

· Van cầu: 316 thép không gỉ kim vanΦ 1/4〞

· Mã sản phẩm: 600&times 745× 700mm

GR.TFLoạt mô hình và thông số kỹ thuật của lò ống chân không

model	Kích thước ống lò (mm) (DxWxH)	công suất (KW)	nhiệt độ (℃)	Nhiệt độ dòng （℃）	Yếu tố làm nóng	điện áp (V)
GR.TF60/11	Φ60×1000	4	1100	1000	dây điện trở contair	220
GR.TF80 / 11	Φ80×1000	4	1100	1000	dây điện trở contair	220
GR.TF100 / 11	Φ100×1000	4	1100	1000	dây điện trở contair	220
GR.TF150 / 11	Φ150×1000	5	1100	1000	dây điện trở contair	220
GR.TF200 / 11	Φ200×1000	6	1100	1000	dây điện trở contair	220
GR.TF60/14	Φ60×1000	6	1400	1300	Thanh Carbon Silicon	220
GR.TF80/14	Φ80×1000	6	1400	1300	Thanh Carbon Silicon	220
GR.TF100 / 14	Φ100×1000	7	1400	1300	Thanh Carbon Silicon	220
GR.TF60/16	Φ60×1000	7	1600	1500	thanh molypden silicon	220
GR.TF80 / 16	Φ80×1000	7	1600	1500	thanh molypden silicon	220
GR.TF100 / 16	Φ100×1000	7	1600	1500	thanh molypden silicon	220
GR.TF60/18	Φ60×1000	7	1800	1700	thanh molypden silicon	220
GR.TF80 / 18	Φ80×1000	9	1800	1700	thanh molypden silicon	380
GR.TF100 / 18	Φ100×1000	9	1800	1700	thanh molypden silicon	380

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị