Máy đo bề mặt 3D

Máy đo bề mặt 3D Slynx là một thiết bị không tiếp xúc hoàn toàn mới được thiết kế cho ngành công nghiệp và viện nghiên cứuMáy đo bề mặt 3D. Nó được thiết kế gọn gàng và sử dụng đa dạng. Slynx có thể đo các vật liệu, cấu trúc, độ nhám bề mặt và độ sóng khác nhau, bao gồm hầu hết các loại hình dạng bề mặt. Tính linh hoạt của nó có thể đáp ứng một loạt các ứng dụng đo lường hình dạng. Tại trung tâm của Sensofar là sự kết hợp của 3 phép đo, đảm bảo hiệu suất * của nó. Kết hợp với hệ thống phần mềm SensoSCAN, người dùng sẽ có được trải nghiệm vận hành vô cùng trực quan.

Lĩnh vực ứng dụng:

• Công nghiệp ô tô
• Điện tử tiêu dùng
• Công nghiệp năng lượng
• Màn hình LCD
• Vật liệu học
• Điện tử
• Sản xuất vi mô
• Vi sinh vật học
• Quang học
• Công nghiệp chế biến máy công cụ
• Công nghiệp bán dẫn
• Sản xuất đồng hồ

Công nghệ đo lường 3 trong 1

ª Đồng tập trung

Công nghệ co-focus có thể được sử dụng để đo hình dạng bề mặt của các mẫu khác nhau. Nó có độ phân giải ngang cao hơn kính hiển vi quang học lên tới 0,10um. Sử dụng nó để đo kích thước tới hạn. Khi sử dụng ống kính 150 lần, khẩu độ 0,95, độ dốc đo được tổng cộng là 70 ° (86 °) trên bề mặt nhẵn. Thuật toán đồng tập trung đảm bảo độ lặp lại của phép đo trục Z trong phạm vi nano.

can thiệp

Giao thoa quét dọc ánh sáng trắng (VSI) là một kỹ thuật mạnh mẽ được sử dụng rộng rãi để đo các đặc tính bề mặt như hình dạng hoặc cấu trúc màng trong suốt. Nó phù hợp hơn để đo các bề mặt từ mịn đến thô vừa phải, cung cấp độ phân giải thẳng đứng ở cấp độ nano bất kể NA hoặc độ phóng đại của vật kính.

ª Lớp phủ đa tiêu cự

Công nghệ chồng chất đa tiêu dùng để đo hình dạng bề mặt rất thô. Dựa trên kinh nghiệm sâu rộng của Sensofar trong các ứng dụng hội tụ công nghệ đồng tập trung và giao thoa, tính năng này được thiết kế đặc biệt để đáp ứng nhu cầu đo lường đồng tập trung thấp. Điểm nổi bật của công nghệ này là tốc độ nhanh (mm/s), phạm vi quét lớn và độ dốc hỗ trợ lớn (86 °). Chức năng này đặc biệt hữu ích cho phôi và đo lường khuôn.