Máy hồ sơ bề mặt quang học 3D

Thiết kế mớiBa chiềuMáy hồ sơ bề mặt quang họcS neoxPhá vỡ truyền thống bằng cách kết hợp các công nghệ đồng tập trung, giao thoa và lớp phủ đa tiêu cự trong một cơ thể duy nhất để đo lường sự vắng mặt của các bộ phận chuyển động trong đầu.

Công nghệ đo lường:

Đồng tập trung

Công nghệ co-focus có thể được sử dụng để đo hình dạng bề mặt của các mẫu khác nhau. Nó có độ phân giải ngang cao hơn kính hiển vi quang học lên tới 0,10um. Sử dụng nó để đo kích thước tới hạn. Khi sử dụng ống kính 150 lần, khẩu độ 0,95, độ dốc đo được tổng cộng là 70 ° (86 °) trên bề mặt nhẵn. Thuật toán đồng tập trung đảm bảo độ lặp lại của phép đo trục Z trong phạm vi nano.

Giao thoa

Giao thoa khác biệt pha (PSI)

Giao thoa chênh lệch pha là một kỹ thuật được sử dụng với độ chính xác subnanomet để đo hình dạng chiều cao của bề mặt nhẵn. Ưu điểm của nó là bất kỳ độ phóng đại nào cũng có thể đảm bảo độ phân giải theo chiều dọc ở cấp độ subnanomet. Sử dụng ống kính 2,5 lần cho phép đo trường nhìn lớn với độ phân giải cực cao theo chiều dọc.

Giao thoa ánh sáng trắng (VSI)

Giao thoa ánh sáng trắng là một kỹ thuật được sử dụng để đo độ chính xác của các phép đo ở cấp độ nano để đo hình dạng chiều cao của các bề mặt khác nhau. Ưu điểm của nó là bất kỳ độ phóng đại nào cũng có thể đảm bảo độ phân giải theo chiều dọc ở cấp độ nano.

Lớp phủ đa tiêu cự

Công nghệ chồng chất đa tiêu dùng để đo hình dạng bề mặt rất thô. Dựa trên kinh nghiệm sâu rộng của Sensofar trong các ứng dụng hội tụ công nghệ đồng tập trung và giao thoa, tính năng này được thiết kế đặc biệt để đáp ứng nhu cầu đo lường đồng tập trung thấp. Điểm nổi bật của công nghệ này là tốc độ nhanh (mm/s), phạm vi quét lớn và độ dốc hỗ trợ lớn (86 °). Chức năng này đặc biệt hữu ích cho phôi và đo lường khuôn.

Phần mềm đo lường và phân tích

Sử dụng SensoSCAN

SensoSCAN là một phần mềm hoạt động đơn giản và thân thiện. Nó đưa người dùng vào thế giới 3D, cung cấp trải nghiệm người dùng *. Trong giao diện phần mềm, người dùng có thể hiểu trực quan và rõ ràng cách đo lường được sử dụng, đồng thời hiển thị và phân tích dữ liệu.

Phần mềm phân tích chuyên nghiệp mạnh mẽ

Với phần mềm SensoPRO LT hoặc SensoMAP, bạn có thể dễ dàng đo lường và phân tích hoàn toàn tự động.

Ứng dụng:

Ba chiềuMáy hồ sơ bề mặt quang họcS neoxCó thể đáp ứng các yêu cầu ứng dụng khác nhau của bạn và đóng một vai trò quan trọng trong các ngành công nghiệp bán dẫn, dược phẩm sinh học và công nghệ sinh học.