Sử dụng ion hóa áp suất cao (hoặc phản ứng hóa học, quang hóa), để phân hủy và trùng hợp một phần oxy trong không khí thành ozone, là quá trình chuyển đổi đồng nhất và đặc hình của oxy; Cũng có thể sử dụng phương pháp nước điện phân để thu được. Sự không ổn định của ozone làm cho nó rất khó để đạt được lưu trữ đóng chai, thường chỉ có thể được sản xuất tại chỗ bằng cách sử dụng máy phát ozone, khi sản xuất. Phân loại máy phát điện ozone theo cách sản xuất ozone, máy phát điện ozone chủ yếu có ba loại: một là loại xả điện áp cao, hai là loại chiếu xạ tia cực tím, ba là loại điện phân.