LAUDA-Noah POU

Bộ điều khiển nhiệt độ không đổi của nhiệt điện, được tùy chỉnh cho ngành công nghiệp bán dẫn, phạm vi nhiệt độ từ–20đến90 Độ nhiệt độ

Dựa trên nguyên tắc dẫn nhiệt Palstic đã được chứng minh thực tế, hệ thống kiểm soát nhiệt độ của LAUDA-Noah POU Thermoelectric có thể cung cấp khả năng kiểm soát nhiệt độ lặp lại cho các ứng dụng cắt plasma. Kiểm soát nhiệt độ động cho chuck tĩnh điện (ESC), cho phép POU được áp dụng cho tất cả các loại quá trình khắc.

Tiết kiệm năng lượng hiệu quả, tiết kiệm không gian và kiểm soát nhiệt độ ổn định, hệ thống thông minh này có thể cải thiện tính đồng nhất của Wafer to Wafer một cách hoàn hảo.